Названия:
РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО МАРШРУТА ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЕМКОСТНОГО МЭМС АКСЕЛЕРОМЕТРА ГРЕБЕНЧАТОГО ТИПА НА ОСНОВЕ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ
Автор:
Бесполудин Владислав Валерьевич
Расположение страниц:
54-56
Язык:
Аннотация:
Поверхностная микрообработка основана на осаждении тонких слоев на поверхности кремниевой подложки и травлении одного или нескольких слоев. Преимущества поверхностной микрообработки заключаются в точном контроле размеров в вертикальном направлении, использование односторонней обработки полупроводниковых пластин, простыми способами. Что позволяет получать более высокую плотность интеграции, и обеспечения массовость производства [4], возможность совместимости с ИС, малый размер, а также более низкая стоимость по сравнению с объемной микрообработкой